行星减速机在当今的工业领域上是不可获缺的，它是人类工业历史上的伟大发明。行星减速机的发展有相当长的历史。
在南北朝时期，数学家袓冲之就发明了具有锥齿轮行星差动传动的指南车；从19世纪开始，由于工程机械行业的迅速崛起，也使行星传动行业的使用范围扩大，进一步促进了行星齿轮减速机的发展；1951年德国首先成功研制了高速大功率行星齿轮传动装置，并广泛应用于船舶、航空及工程机械以及军事等领域。随后，世界各国都开始大力发展这种技术并且不断创新。
在改革开放以来，我国在行星减速机领域有很大发展，特别是最近几年，随着中央提出“中国制造2025”及其节能减排，提高工业化水平政策后，在行星减速机领域出现井喷式发展。但相对于国外来说，我国在领域的技术相对落后，一些关键技术领域被国外所垄断。这也我们所要发展的方向。
好的行星减速机材料，有利于提高齿轮减速机的承载力及使用寿命。
针对精密减速机的结构特点和齿轮的载荷性质，应该广泛采用硬齿面齿轮。获得硬齿面齿轮热处理方法有很多。如表面淬火、整体淬火、渗碳淬火、渗氮等，应根据齿轮行星减速机的特点选定。
1.表面淬火
常见的表面淬火方法有高频淬火（对小尺寸齿轮）和火焰淬火（对大尺寸齿轮）两种。表面淬火的淬硬层包括齿根底部时，其效果最好。齿面硬度可达45-55HRC.
2.渗氮
采用渗氮可保证齿轮在变形最小的条件下，达到很高的齿面硬度和耐磨性，热处理后不再进行最好的精加工，提高了承载能力。
3.渗碳淬火
渗碳淬火齿轮具有相对较大的承载能力，但必须采用精加工工序（磨齿）来消除热处理变形，以保证精度。
渗碳淬火齿轮常用渗碳前碳的分数为0.2%-0.3%的合金钢，其齿面硬度常在58-62HRC范围内，若低于57HRC时，硬面强度显著下降，高于62HR则脆性增加。渗碳淬火齿轮的硬度，从齿轮表面至深层逐渐降低，而有效渗碳深度规定为表面至硬度5.25HRC处的深度。
渗碳淬火在齿轮弯曲疲劳强度方面的作用除使心部硬度有所提高外，还在于表面的残余压应力。它可使最大压应力区的应力减小，因此磨齿时不能磨齿根部分。
